日本kakenjse实验研究用曝光机MA-1200/MA-1400技术

发布时间：2021-03-11　点击量：1817

日本kakenjse实验研究用曝光机MA-1200/MA-1400技术

MA-1200，MA-1400

支持大500 mm x 500 mm的板。配备了光学系统，可根据应用和板子尺寸将超高压汞灯（500W，1kW，2kW，3.5kW）与各种反射镜，特殊透镜，聚光镜等进行z佳组合。

MA-1200A

MA-1200	MA-1400
板子尺寸		大200 x 200mmø4“〜ø6”	高达400 x 400mm
光源		超高压汞灯：500W或1kW	超高压汞灯：2kW或3.5kW
尺寸和重量	车身尺寸	宽12x深1100 x高1725毫米	宽1440 x深1590 x高1882毫米
	体重	400公斤	400kg（包括干净的围栏）
	光源重量	--	250公斤
选项		支持特殊的工作尺寸，例如干净的围栏，背面对准，硬接触（真空接触类型），自动对准，破裂的基板（需要咨询）

我们接受有关板子尺寸，水银灯瓦数和特殊规格的咨询。

		MA-1200A
晶圆尺寸		ø2“〜ø6”
光源		超高压汞灯：500W或1kW
尺寸和重量	车身尺寸	W850 x D1150 x H1665毫米
	重量	400公斤
选项		背面对齐，自动对齐，开裂的板，条形码读取器和LOG存储支持（需要咨询）

*我们接受有关特殊规格的咨询，例如板子尺寸，水银灯瓦数和UV-LED安装。